中科院西安光机所低温等离子体研究获进展

摘要：

近年来,大气压低温等离子体因其高度的化学活性和无需真空设备的优势,在工业材料表面处理、生物医疗杀菌消毒以及环保净化等方面受到了广泛的关注.大气压辉光放电等离子体凭借其功率密度适中和放电均匀特性成为等离子体表面处理和医疗环保应用的最佳选择,而介质阻挡放电和直流辉光放电是产生大气压辉光放电等离子体的主要方式.为了避免被处理样品发生局部灼烧和有效地提高等离子体处理机的工作效率,研发大面积、均匀弥散的等离子体己成为当今低温等离子体领域的重要研究方向之一.

机标关键词：中科院、西安、光机、放电等离子体、低温等离子体、大气压、等离子体表面处理、直流辉光放电、介质阻挡放电、材料表面处理、真空设备、生物医疗、研究方向、杀菌消毒、均匀特性、环保应用、化学活性、功率密度、工作效率、大面积

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分类号：TG1;O53

在线出版日期：2014-07-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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