PET有机薄膜表面的纳米DLC 薄膜制备及结构研究

摘要：

为了研究类金刚石膜的结构,采用射频等离子化学气相沉积的方法制备出类金刚石薄膜,傅立叶红外透射光谱对沉积薄膜进行结构成分分析.结果表明,采用射频等离子体化学气相沉积方法,可以在很短时间内于PET瓶内沉积一定纳米厚度的DLC膜,但受到电极的影响较大.选用不同大小的电极,所制备的DLC的结构不同, 薄膜中sp2 和sp3比例和放电功率有较大的关系.同时发现薄膜的成分受乙炔在氩气中的比例影响,提高功率是减少沉积时间的主要手段.

关键词：有机薄膜、DLC、PECVD、结构性能

所属期刊栏目：16

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：北京印刷学院校科研和教改项目O2000/00050

在线出版日期：2008-06-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：37-39