射频等离子体自偏压及其对聚合成膜的影响

摘要：

通过实验分析了射频等离子体自偏压的产生及与电子密度、电子温度的关系和对聚合成膜质量的影响并探讨了其机制,指出产生自偏压可明显改善等离子体聚合成膜质量,这是由于自偏压提高了等离子体中电子温度和电子密度的结果.在直接利用等离子体进行聚合反应制备薄膜时,应根据装置条件选择合适的自偏压值.

关键词：射频等离子体、自偏压、电子温度、电子密度、等离子体聚合

所属期刊栏目：11

分类号：O539;O631.5(等离子体物理学)

在线出版日期：2004-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：19-23