气体流速对FCVA技术制备nc-ZrC/a-C：H复合膜的影响?

摘要：

采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)技术,室温下通入C2 H2在Si(100)与304不锈钢片上制备nc-ZrC/a-C：H 复合薄膜.采用 XRD、Raman、XPS、SEM-EDS研究了薄膜的成分及微观结构,利用纳米力学探针和摩擦磨损仪测试薄膜的硬度及摩擦磨损性能.主要讨论了不同C2 H2气体流速对复合膜成分、结构及其性能的影响,研究结果表明：C2 H2气体流速由20 mL·min-1增加到70 mL·min-1时,薄膜中的C原子分数逐渐升高；气体流速超过70 mL·min-1后,C 原子分数趋于平稳(约为75%).随着气体流速的增加,薄膜硬度呈现先增后减的趋势,当气体流速为40 mL·min-1时(C原子分数约为65%),制备的薄膜综合机械性能达到最佳(硬度41.49 GP,摩擦因数0.25).

关键词：磁过滤阴极真空弧(FCVA)、nc-ZrC/a-C:H、气体流速

分类号：O484.5(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目11710228,10975020

在线出版日期：2015-01-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：609-613