基于激光自混合干涉法的微振动测量

摘要：

激光自混合干涉法由于其测量精度高、光路简单、准直性好等优点,十分适合于微小振动的测量.然而在测量微振动时,由于被测目标振幅微小且大多情况下其表面反射系数很低,造成测量信号的幅值较小以及光反馈导致的信号波形倾斜不明显,给测量信号解调带来了很大难度.在自混合干涉光路中添加一个预反馈镜,构成带预反馈的干涉光路系统,可将测量信号增强2～4倍.同时,推导“基频-极值点判定算法”的频率幅值解调公式,建立了模型算法,实现自混合干涉信号的解调.理论分析和实验表明,频率测量的误差小于2.5％,振幅测量的误差小于5％.

关键词：激光自混合干涉、预反馈、基频、极值点

所属期刊栏目：37

分类号：TH741(仪器、仪表)

在线出版日期：2017-10-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：584-589