面向非硅MEMS的桌面微装配系统模块化设计方法

摘要：

针对非硅MEMS零件的装配瓶颈难题,提出一种面向非硅MEMS的桌面微装配系统模块化设计方法.论述了所提出桌面微装配系统的内涵、特点及其应用对象,并在此基础上提出了基于装配单元通用功能完整性和系统可重配置性的模块划分原则;利用相关性分析方法建立了综合相关矩阵并应用模糊聚类方法对其进行了操作,确定了模块划分定量计算流程,利用模糊评价方法对模块划分合理性进行了评价;以桌面微装配系统的自主式装配单元为实例进行了设计方法的验证,证明了模块化设计方法的有效性.

关键词：桌面微装配系统、模块化设计、可重配置、模糊聚类

所属期刊栏目：35

分类号：TH39(泵)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51127004,51105036;国家部委预研项目A0920110013

在线出版日期：2016-03-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1108-1112,1134