面向高精度放大比的微动机构设计与实现

摘要：

以一种微位移放大模块为研究对象,提出一种以高精度放大比为目标的参数设计方法.根据伪刚体模型法建立各柔性单元的变形协调关系,利用拉格朗日能量守恒原理推导出系统能量与柔性单元位移的对应关系,在此基础上采用系统能量均布原则使得结构参数关联化,实现了微位移放大模块结构参数的层递式设计.同时应用有限元ANSYS软件对微位移放大模块进行仿真分析,对比分析表明该理论计算方法与软件仿真结果偏差为6.25％,为面向高精度放大比的微动机构参数设计提供了理论依据.

关键词：微动机构、参数设计、放大比、刚度

所属期刊栏目：35

分类号：TP24(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61303006;山东省优秀中青年科学家科研奖励基金资助项目BS2012ZZ009;山东理工大学青年教师发展支持计划项目2013-02

在线出版日期：2015-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：691-696