半导体制造AMHS中悬挂式小车多因素调度方法

摘要：

为提高半导体制造系统的整体性能,提出了一种考虑多因素的悬挂式小车(overhead hoist transporter,OHT)调度方法.从工作站、晶圆批、搬运系统三方面分析了搬运距离、晶圆批优先级、工作站特性、OHT利用率、等待时间5个关键因素.以成本最小作为调度目标,基于这5个因素构造了混合多因素调度模型,同时引用二分图匹配方法构建了调度模型的求解算法.最后进行了仿真实验设计和分析,结果表明该方法是有效、可行的.

关键词：悬挂式小车、多因素、调度、二分图、自动物料搬运系统

所属期刊栏目：34

分类号：TP29(自动化技术及设备)

在线出版日期：2014-08-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：603-606