飞秒激光微通道加工研究进展

摘要：

综述了基于飞秒激光微通道制造的研究现状,包括加工机理、工艺技术方面的研究进展,重点介绍了飞秒激光改性辅助化学刻蚀和液体辅助飞秒激光烧蚀两大主要制造方法上的研究成果,概述了目前面临的主要问题与挑战,展望了未来的发展趋势.

关键词：微通道、飞秒激光、改性

所属期刊栏目：32

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家"九七三"计划项目2011CB013000;国家自然科学基金资助项目90923039,51025521

在线出版日期：2013-01-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共13页

页码：991-1003