微装配检测棱镜机构方位调整及误差分析

摘要：

棱镜机构是实现对位的关键部件.为提高对位精度,在棱镜的棱脊倾斜和偏转状态下,应用动态光学理论推导出反射光线实际出射方向与理想出射方向的角度偏差以及实际图像与理想图像相对位置偏差的计算公式.提出了利用高精度、高速度的数字测微计和显微视觉系统分别实现棱脊倾角和偏转角的两步检测与调整的方法.通过实验和误差分析,验证了上述计算和调整方法的有效性.

关键词：微装配、精确对位、棱镜、误差分析

所属期刊栏目：31

分类号：TP29(自动化技术及设备)

资助基金：国家部委基金资助项目51318020309;国家教育部高等学校学科创新引智计划项目B08043

在线出版日期：2012-02-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：896-900