基于压电陶瓷的光学微扫描器及其有限元分析

摘要：

研究基于压电陶瓷和柔性铰链的光学微扫描器及其放大机构的位移放大原理,分析单轴圆弧型柔性铰链性能,利用有限元方法对光学微扫描器的柔性铰链放大机构进行仿真.结果表明:柔性铰链的最小厚度值为圆弧半径的2倍时,微扫描器位移放大结构达到稳定位移,放大机构的放大率提高到压电陶瓷驱动位移的3.25倍,进一步验证了放大机构设计的合理性.

关键词：微扫描器、柔性铰链、有限元分析

所属期刊栏目：28

分类号：TH703;TN304(仪器、仪表)

资助基金：国家部委预研项目A1120060488;国家"十一五"计划项目40405030103

在线出版日期：2009-02-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1003-1007