基于傅里叶变换移相测量的相位测量轮廓术

摘要：

移相误差是移相法相位测量轮廓术的主要误差来源.提出一种对实际步进移相值进行测量,消除移相误差对相位测量影响的算法.该算法将傅里叶变换相位测量和移相法相位测量相结合,利用傅里叶变换相位测量原理测量每次移相的实际相移量,然后根据相移实测值计算相位分布,进而获得物体表面的三维数据.该算法能够准确测量每步移相的实际相移量,不要求移相的均匀性和重复性,只需3帧图像就可解调出相位分布,不受移相误差的影响.仿真结果证实了该算法的有效性.实际图像数据处理结果表明,该算法可以基本消除由移相引起的误差.

关键词：相位测量、傅里叶变换轮廓术、相位测量轮廓术、移相法

所属期刊栏目：20

分类号：O438.2(光学)

资助基金：国家部委预研项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：715-719