锌还原法制备多晶硅过程影响硅产率的因素分析

摘要：

对锌还原法过程中影响硅产率的因素进行研究.分析了当反应达到平衡,在0.1、0.3和0.6 MPa以及进料配比xZn/xSiCl4为2、4和8时,气相平衡组分分布与温度的关系.讨论了硅产率随温度、压强及xZn/xSiCl4的变化情况.结果表明,低温、一定压力和高xZn/xSiCl4对锌还原过程有利.确定了影响硅产率的主要副反应.最后得到锌还原法的最佳操作条件为温度控制在1 200 K左右、0.2 MPa及进料配比xZn/xSiCl4=4,在此条件下硅的理论产率可为90.3%.

关键词：多晶硅、锌、还原、产率、热力学、相平衡

所属期刊栏目：33

分类号：TN304.12;O642.4(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金50574045

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1516-1522