钛等离子渗氧研究

摘要：

为了提高钛表面硬度和耐磨性,采用辉光放电等离子渗氧技术对钛进行表面处理.结果表明,渗氧层厚度与氧分压、温度和时间呈明显的对应关系.特别是,在空心阴极辉光放电条件下,离子轰击会加强氧的离子化,促进渗氧,有助于低价态氧化物的形成.在表层所形成的TiO其硬度达到或接近TiN的硬度水平.

关键词：辉光放电、离子轰击、渗氧硬化

所属期刊栏目：24

分类号：TG156.8(金属学与热处理)

资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）7150080050

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：44-46