光谱共焦透镜组设计及性能优化

摘要：

根据光谱共焦位移测量系统的测量原理,分析了光谱共焦测量系统中色散透镜组的性能对整个测量系统性能影响,并提出了设计要求.利用ZEMAX光学设计软件设计了2组透镜,第1组透镜加工装配后进行了性能测试,测量结果与设计结果符合很好.第2组透镜对性能进行了改进,从结果来看,像差、数值孔径、灵敏度及位移分辨率等指标都优于第1组透镜,达到设计要求.

关键词：光谱共焦、色散透镜设计、微位移测量

所属期刊栏目：28

分类号：O435.2(光学)

资助基金：北京市教委科技面上项目资助SQKM201211232006

在线出版日期：2013-06-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：42-45