微机械气流式全方位姿态传感器的建模及计算

摘要：

为了提高传感器的性能,利用ANSYS软件给出了微机械气流式全方位水平姿态传感器的三维有限元建模方法并进行了计算.结果表明:①利用敏感元件结构的对称性,采用先建立一个半模型的方法,可以在建模和观察计算结果时带来方便;②在流体梯度大的地方,网格划分得较密一些,这样有助于节约计算时间和提高计算精度.与以往的二维建模相比较,三维建模得到的计算结果更加全面和准确,为今后传感器性能的研究提供了可靠的依据.

关键词：三维建模、有限元分析、微机械、全方位

所属期刊栏目：23

分类号：TN379;TN37(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;北京市教委科技面上项目;北京市市属市管高等学校人才强教计划

在线出版日期：2008-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-24