激光准直技术在大孔同轴度测量中的应用

摘要：

介绍一种用于大孔同轴度测量的激光准直系统,该系统主要由单模尾纤半导体激光二极管、面阵CCD探测器、图像卡、以及计算机组成;采用重心法计算光斑能量中心位置,降低对光斑质量的要求;多次采样取平均值以抑制光束随机抖动误差;采用单模光纤抑制激光束的角漂移.经实验激光参考线的稳定度达到1.5×10-6的数量级,满足大孔同轴度测量的要求.

关键词：激光、准直、同轴度

所属期刊栏目：15

分类号：TH741.14(仪器、仪表)

资助基金：中国机械工业技术发展基金97JA0211

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：60-62