10.13700/j.bh.1001-5965.2015.0538
基于CCR带并行腔双集束型设备调度方法
为有效解决450 mm晶圆制造中带有并行处理腔的集束型设备群调度问题,提出了基于产能约束资源(CCR)的调度方法.首先,综合考虑多品种加工、晶圆驻留和资源约束等特征,以系统总完工时间最小作为目标,建立带并行腔双集束型设备调度数学模型;其次,为优化机械手作业顺序,对CCR实施锁定-收紧-松弛(LTL)策略,构建了一种以CCR为界的分段调度算法;最后,进行了仿真实验分析.结果表明本文提出的算法是有效和有竞争性的.
集束型设备群、并行腔、驻留约束、产能约束资源、调度算法
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F270;TP391(企业经济)
2017-01-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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