MEMS陀螺标度因数误差分析及分段插值补偿

摘要：

动态条件下,标度因数引起的误差是MEMS(Micro Electromechanical System)陀螺主要误差源之一.为了提高陀螺精度,基于内框驱动式硅MEMS陀螺误差机理,分析了标度因数常值误差、非线性误差以及不对称误差的物理起因,构建了标度因数误差数学模型,提出了对陀螺标度因数按照角速度大小分段插值的补偿方法,消除了转速引起的陀螺标度因数误差.试验结果表明:MEMS陀螺标度因数误差高达4 053.2(°)/h(1σ),采用分段插值法补偿后陀螺误差减小到79.0(°)/h(1σ),补偿精度比一次拟合及分段法分别提高了15.4倍和7.5倍,验证了MEMS陀螺标度因数误差模型的正确性,证明了标度因数实时分段插值补偿方法的准确性和适用性.

关键词：微机电系统、陀螺、标度因数、非线性误差、分段插值法、误差补偿

所属期刊栏目：33

分类号：V249.32+2(航空仪表、航空设备、飞行控制与导航)

资助基金：应用基础研究项目;新世纪优秀人才支持计划

在线出版日期：2007-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1064-1067,1081