平面3自由度柔顺微动机器人加工误差分析

摘要：

在微/纳米级定位领域,误差分析是提高微动机器人运动精度的重要方法.其中,对加工误差的分析尤其关键.为此,对平面3自由度(DOF,Degree of Freedom)柔性并联微动机器人的加工误差进行了研究.通过对机器人静刚度求解,建立了加工误差与其末端执行器定位精度的关系模型.通过理论计算途径及有限元方法(FEM)讨论了各结构参数加工误差对末端精度的影响程度,结果表明柔性铰链圆弧切口半径误差以及铰链圆弧切口中心线角度偏差对机器人末端精度的影响最大.研究所得结论可用于指导此类机构设计,确定加工过程中各机构参数的公差要求,并有助于提高标定精度.

关键词：微操作手、柔性铰链、并联机构、误差分析、有限元方法

所属期刊栏目：31

分类号：TP241.3(自动化技术及设备)

资助基金：北京市科技新星计划;国家自然科学基金

在线出版日期：2005-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：757-761