微流控芯片光固化模塑成型的快捷加工技术

摘要：

采用光固化模塑法代替传统的芯片加工方法,用液体光固化材料代替传统的热塑性高分子材料以及玻璃和硅等无机材料,研究了一种微流控芯片的快捷、低成本制作方法;同时研制出了适用于光固化材料芯片的键合方法.对键合后的芯片进行检验,实验结果表明,光固化模塑成型的微流控芯片流道精度高、完整性好、通畅度佳;芯片透光性良好,红外光及紫外光透过率分别达94％和24％;在芯片的混合流道内能形成水包油的液滴.整个制造过程能够满足微流控芯片批量化生产的要求,且相应的生产设备造价不高,降低了微流控芯片的制作成本.

关键词：微流控芯片、光固化模塑、微加工、液滴

所属期刊栏目：44

分类号：TQ320.72

资助基金：国家自然科学基金51573017

在线出版日期：2017-10-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：90-93