基于流态化技术硅粉直接氮化制备氮化硅粉

摘要：

提出了一种基于流态化技术,利用硅粉直接氮化制备氮化硅粉的新工艺.在常温下,以氮气为载气,将硅粉快速流化并夹带离开供料装置,硅粉和氮气组成的气-固两相流进入到预热器中,预热后的混合物从底部进入到高温悬浮床的高温区,以稀相气力输送的方式连续穿过高温悬浮床,在高温常压下发生燃烧合成反应,最后在出口经冷却装置冷却后,由收集装置收集,得到氮化产物.借助SEM、XRD、元素分析和FTIR等方法分析了氮化产物的形貌、物相组成、化学成分以及价键结构.实验结果表明:对于平均粒径为2.7 μm的硅粉,在反应温度为1653 K、反应时间为2.7 min时,硅的转化率为53.4%,氮化产物为非晶氮化硅粉.通过理论预测,如果将反应温度升高至1723 K,硅粉氮化7.1 min后,其转化率可达99%.本文提出的方法可连续制备优质氮化硅粉,而且比现有的其他制备方法具有更高的生产效率.

关键词：流态化、氮化硅、直接氮化、合成、非晶

所属期刊栏目：35

分类号：TQ037(一般性问题)

在线出版日期：2008-03-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：70-74