10.3969/j.issn.1673-4793.2004.02.005
微电子机械系统(MEMS)器件中的普通物理学原理
简要介绍了微电子机械系统,一个新兴的高新技术领域,并以微机械陀螺和加速度计结构为例说明了物理学基本原理在MEMS器件中的应用.
微电子机械系统器件、物理学
11
TN301;O313(半导体技术)
2005-08-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
24-27,58
点击收藏,不怕下次找不到~
10.3969/j.issn.1673-4793.2004.02.005
微电子机械系统器件、物理学
11
TN301;O313(半导体技术)
2005-08-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
24-27,58
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话:4000115888 举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn