偏置电压交变的时分反馈闭环加速度计

摘要：

提出一种改进结构的时分反馈闭环加速度计,该结构使用负系数的PID控制器,只需要一个运算放大器.改进后的结构减小了读出电路的芯片面积,同时省去一个运算放大器和两个大电阻,因此能降低系统噪声.读出电路采用0.35 μm高压CMOS工艺,并包含自检测功能.测试结果显示,在自检测模式下,闭环加速度计的线性度为99.72％.在DC到200 Hz内,输出噪声电压均方根值约为140 μV.

关键词：比例积分微分控制器、闭环、加速度计、自检测、微机电系统

所属期刊栏目：50

分类号：TN432(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：863计划2008AA042201

在线出版日期：2017-01-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：729-733