适于MEMS加速度计读出电路带宽可调的低通滤波器

摘要：

提出了一种适于MEMS电容加速度计读出电路带宽可调的低通滤波器,带宽调节范围为100～8000kHz.信号频率低于500Hz 时选用开关电容低通滤波器,高于500 Hz 的信号则由连续时间低通滤波器来处理.该低通滤波器采用1.2μm的 2P2M 的 N-阱 CMOS 工艺实现.设计中分析并解决了因时钟信号引起的制约开关性能的因素:优化的开关时序消除了电荷注入引起的非线性;时钟馈通敏感节点增加虚拟开关抵消了耦合电荷;高PSRR共源共栅折叠式差分输入结构,有效地抑制了来自电源的干扰,改善了电路的性能.

关键词：MEMS、电容加速度计、读出电路、低通滤波器、CMOS

所属期刊栏目：44

分类号：TN432(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：预研项目0405sj0700

在线出版日期：2008-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：98-102