场效应纳电子晶体管的构造和电学特性测量

摘要：

研究了场效应纳电子晶体管构造过程中金属电极的结构设计,源-漏电极高度、SiO2绝缘层厚度以及金属电极选材等因素对器件性能有关键的影响.在此基础上测量了单壁碳纳米管束的场效应行为,构造成功基于单壁碳纳米管束的场效应晶体管.

关键词：单壁碳纳米管、化学气相沉积、肖特基势垒、场效应晶体管

所属期刊栏目：41

分类号：TN04;TN103(一般性问题)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2001CB610503;国家自然科学基金90206048,90406014,50202001,50202002,60471007;北京市自然科学基金4032012,4042017;高等学校博士学科点专项科研项目20020001003

在线出版日期：2005-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：769-773