10.3321/j.issn:0479-8023.2004.05.021
基于SOI的可变电容的特性分析
提出了一种利用二维器件与电路模拟器ISE中的AC分析提取可变电容主要参数的方法,利用它对一种基于SOI的三端可变电容(栅控二极管)进行了模拟研究,并分析了几个主要结构参数对SOI变容管性能的影响.结果显示,栅氧厚度、硅膜掺杂、硅膜厚度等结构参数会对SOI变容管的调节范围和灵敏度有直接影响.在模拟中,还观察到了当栅氧厚度很薄时,多晶硅栅耗尽导致的可调电容的变化范围不规则变化的现象.该研究结果可为SOI可变电容的进一步实验设计和优化以及建模工作提供指导方向和依据.
可变电容、SOI、交流分析、器件模拟、ISE
40
TN4(微电子学、集成电路(IC))
国家高技术研究发展计划863计划2002AAIE1590;国家自然科学基金60306005
2005-01-13(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
835-839