基于复色共焦的透明材料厚度测量数据处理方法研究

摘要：

为了解决精密光学透镜制造、玻璃容器生产等透明材料相关行业对厚度检测的需求,采用复色共焦法对透明材料厚度进行检测.介绍了共焦系统测量原理,提出了测量结构方案,构建了测量实验装置,并对实验装置进行了标定.利用线性回归法对实验数据进行处理:使用线性预测函数建模,根据实测数据确定模型中各个参数,并对误差进行补偿,完善了厚度模型.实验结果表明:共焦系统的测量范围达到15 mm,测量精度为±3μm,从而证明该方法是一种高精度的在线非接触测量方法.

关键词：仪器仪表技术、共焦法、透明材料、厚度测量、线性回归

所属期刊栏目：37

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：吉林省科技发展计划项目20120357

在线出版日期：2016-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1964-1968