陶瓷基体表面粗糙度对Ni-Cr薄膜换能元性能的影响

摘要：

研究了Al2O3(95%)陶瓷基底的粗糙度对Ni-Cr(80/20)合金薄膜及薄膜换能元性能的影响.利用磁控溅射法在不同粗糙度的基底上制备了Ni-Cr合金薄膜.通过扫描电镜、划痕法、4探针法对薄膜的微观结构、附着性能、电性能进行了研究.根据D-最优化法测定了基底粗糙度不同的薄膜换能元爆发电压、爆发电流.结果表明:随着基底粗糙度的增大,薄膜颗粒度增大,结构缺陷增多,电阻率增大,Ni-Cr薄膜附着力变大;基底粗糙度不同的样品随着刺激量的增大,爆发时间的差别逐渐缩小,当充电电压达到37 V时其爆发时间均接近20μs.

关键词：物理化学、Ni-Cr薄膜、磁控溅射、表面粗糙度、电性能、形貌、附着力、基底

所属期刊栏目：32

分类号：TJ450.1(弹药、引信、火工品)

在线出版日期：2011-08-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：548-553