电化学加工法制备微细工具电极试验研究

摘要：

微细工具电极的获得及工艺过程控制是微细加工的关键.采用电化学方法制备微细探针和微圆柱体工具电极,在分析其成形机理的基础上,对影响微探针和微圆柱体电极的工艺参数,如通电方式、电解液浓度、电源性质、电极运动方式等进行分析.实验与分析的结果表明:采用液面下通电方式、适当浓度的电解液可以制得性能较好的探针;脉冲电源加工能够改善成形后微细电极的表面精度;电极的运动和脉冲电源由于破坏了腐蚀过程中的平衡,制备出的电极呈锥形.

关键词：机械制造自动化、电化学加工、微细工具电极、微细加工

所属期刊栏目：31

分类号：TN16;TG662(真空电子技术)

资助基金：国家自然科学基金项目50905165

在线出版日期：2010-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：74-78