石英管壁厚激光扫描在线检测系统研究

摘要：

基于光电传感和激光扫描检测技术,本文提出了一种石英管壁厚激光扫描在线检测系统,采用激光后扫描方法对以一定角度入射到石英管侧面,经其内外表面反射后的两束激光光束的空间位置进行测量,解决了石英管壁厚非接触在线测量问题.文中详细论述了系统的总体结构、检测原理及信号处理系统.通过实验对系统的测量精度进行了验证,结果表明系统测量精度达±0.01mm.

关键词：仪器仪表技术、石英管、激光扫描、壁厚测量、在线检测

所属期刊栏目：25

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：229-231