MEMS固态引信硅微结构的力学分析与设计

摘要：

讨论了微机电固态引信核心子系统(即微传感器系统)的设计和分析,并针对典型的弹性质量系统,建立了其过载变形的模型,给出了用于计算位移加速度关系系数的方法.

关键词：微机电系统、微传感器、固态引信

所属期刊栏目：21

分类号：TJ43(弹药、引信、火工品)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：45-46