Research status and development trend of MEMS S&A devices:A review

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资助基金：The work is supported by China Postdoctoral Science Founda-tion;and the Fundamental Research Funds for the Central Universities

在线出版日期：2021-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：450-456