微电解处理半导体含铜废水研究

摘要：

半导体废水中，含铜废液一般采用委托处理的方式，而含铜废水通常采用与酸性废水混合后进入中和系统再排放。在300 mm晶圆制造过程中，由于含铜废水水量波动大，如果未经有效处理就排放，容易造成总排口铜的超标。采用铁炭微电解对半导体含铜废水处理，研究表明：投加铁炭填料100 g/L，pH调至2.2，反应60分钟进水水质指标范围，铜的去除率可以达到97％以上。

关键词：微电解、半导体、含铜废水、处理方法

分类号：X703(一般性问题)

在线出版日期：2014-04-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：106-108