三氯氢硅建设项目污染源分析与控制

摘要：

三氯氢硅是制备多晶硅的重要原料，三氯氢硅极易挥发，在空气中易燃，并能与空气形成爆炸混合物，其化学性质很不稳定，遇水或水蒸气发生剧烈的放热反应，形成有毒的腐蚀性氯化氢烟雾；通过对三氯氢硅建设项目工艺流程及产污环节分析，探讨了该类项目生产过程废气、废水、噪声、固体废物等污染物的种类、成分及产生量，在此基础上提出了相应的污染控制措施，对该类项目环境影响评价工作有一定的指导作用。

关键词：三氯氢硅、污染源、污染控制措施

所属期刊栏目：37

分类号：X502(一般性问题)

在线出版日期：2012-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：192-194