半导体制造业降低全氟化碳（PFCs）排放的研究

摘要：

半导体制造业作为信息产业的基础，半导体元件的需求增长迅速。半导体行业的环保节能研究已成为技术发展的主题。全氟化碳（PFCs）为目前认为具有高温室气体暖化潜势的气体，也是《京都议定书》控制的6种温室气体之一，对气候的影响能力不可忽视。全球各半导体行业、环保部门及相关研究机构仍在不断努力减排。本文从半导体行业中PFCs的排放现状、产污环节、排放特点、污控途径、激励措施等方面对其减排途径进行了研究和分析。

关键词：减排、全氟化碳、半导体、污控途径、全球气候变化

所属期刊栏目：37

分类号：X511(大气污染及其防治)

资助基金：杭州市环境保护科研计划项目《杭州低碳城市建设中的环境问题及对策研究》2010008

在线出版日期：2012-09-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：55-58