半导体行业含氟废水处理的研究

摘要：

在过去几年,中国的半导体工业得到了迅速的发展,同时也带来了新的环境问题,其中尤以含氟废水的危害最为严重.文章详细介绍了某半导体企业含氟废水处理站,包括含氟废水的来源,危害,常用的处理方法,实验情况,本工程采用的工艺流程和运行情况等.实验数据和工程运行情况都证明,pH值为7.5～8.5时,以化学沉淀法和混凝沉淀法处理含氟废水效果最好.实践证明利用强酸强碱调节废水pH值后,采用CaCl2处理含氟废水,具有操作简便和处理费用低等优点,同时针对CaF2沉淀对处理设备的影响提出了有效措施.

关键词：半导体行业、含氟废水、化学沉淀法、混凝沉淀法、pH值

所属期刊栏目：34

分类号：X703.1(一般性问题)

在线出版日期：2009-08-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：75-77,82