交/直流薄膜方块电阻测试系统设计与分析

摘要：

四探针法测量薄膜方块电阻具有测量精度高、稳定性好等优点,被广泛应用于薄膜器件制备、半导体微区掺杂等领域.为了提高薄膜方块电阻的测试速度及精度,以改进的范德堡法原理为基础,采用压控电流源方式输出稳定的电流,利用LabVIEW软件搭建了一套能使用交/直流测量薄膜方块电阻的测试系统.为了验证该测试系统的合理性及测试速度,选取Pt金属薄膜作为被测样品进行方块电阻的测量.测试结果表明,直流法和交流法都能精确测量薄膜方块电阻,直流法和交流法的单次测试时间分别为0.378 s和0.317 s,系统的测试速度优于商用280SI半导体设备.交流法测试Pt金属薄膜方块电阻的抗干扰能力比直流法强.该系统为被测样品选取合适的测试电流和测试方法提供了参考,对薄膜样品进行变温电阻率连续测量具有重要意义.

关键词：范德堡法、LabVIEW、交流、直流、方块电阻

所属期刊栏目：49

分类号：TN307(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;江西省教育厅科研资助项目

在线出版日期：2024-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：85-90