热电应力下闪速存储器耐擦写次数预测方法

摘要：

针对闪速存储器的擦写测试与失效分析的需要,探究了基于阿伦尼斯模型的加速试验方法用于闪速存储器的可行性,提出了一种热电应力下闪速存储器耐擦写次数的预测方法.利用Silvaco TCAD仿真软件建立闪速存储器的存储单元模型,探究了阈值电压在热电应力下的退化趋势以验证该方法的可行性.基于优化后的March算法对实际闪速存储器进行了热电应力下的耐擦写测试,并通过加速试验方法和Matlab软件对试验数据进行处理,验证了该方法的适用性.该方法可在热电应力耦合的复杂环境下动态考核闪速存储器的擦写性能,预测闪速存储器在常温下的耐擦写次数,为闪速存储器擦写性能评价提供依据.

关键词：闪速存储器、阿伦尼斯模型、耐擦写次数、热电应力、阈值电压

所属期刊栏目：47

分类号：TN307;TP333(半导体技术)

资助基金：国防基础科研计划JSZL2016601B007

在线出版日期：2022-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：243-248