利用图像处理技术检测统计硫化镉晶片微管数

摘要：

利用显微镜观察和统计晶体缺陷是一种常规的测试方法,但由于研发初期微管、孔洞等缺陷数通常较多且分布不均匀,统计起来非常费时费力.针对上述问题,介绍了一种利用MATLAB图像处理技术的硫化镉晶片微管检测计数的新方法.借助MATLAB图像处理工具箱,对微分干涉显微镜下的硫化镉晶片照片进行处理,编写晶片微管检测计数程序,统计评价区域内晶片的微管数,并且该程序具有手动调节阈值功能.研究结果证明,利用此方法统计的微管数准确度可达95％,借助图像处理技术检测统计微管数是一种高效、快速、准确的新方法,可实现检测、统计过程的自动化,是一种非常实用的技术.

关键词：晶片、微管、缺陷统计、图像处理、阈值调节

所属期刊栏目：40

分类号：TN304.07(半导体技术)

在线出版日期：2015-03-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：152-156