基于SRN的集束型半导体装备批加工模型

摘要：

为了分析集束型半导体装备的性能,研究了系统批加工过程的随机回报网模型,模型不仅可以描述装备的批加工过程和机械手的操作序列,还可以用来分析装备的性能.该模型适用于装备的并行晶圆流和串行晶圆流、串-并混合型模式.在模型中,用变迁的实施速率表示装备加工操作的频率.在模型中还引入了变迁的实施函数来控制不同状态下机械手动作,以避免死锁发生.最后应用该模型,以晶圆流模式(2,1,1)为例,分析了系统配置参数对系统吞吐量的影响.

关键词：随机回报网(SRN)、模型、集束型装备、半导体、批加工

所属期刊栏目：39

分类号：TN305(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61104093

在线出版日期：2014-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：309-314