一种新颖的光罩可制造性规则检查方法与系统

摘要：

介绍了一种较为先进的光罩可制造性规则检查的方法及其系统构成.实验结果表明,通过整合各种EDA工具,在光罩检验前就可发现这些可能给光罩检验造成困难的图形,为后续光罩检验步骤提供参考,显著提高了光罩检验的效率.

关键词：光罩可制造性规则检查、光罩缺陷检测、版图

所属期刊栏目：32

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2007-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：238-240