看板在晶圆厂清洗-炉管间的派工应用及仿真

摘要：

看板是实现拉式派工的有效工具,它可以用于晶圆制造厂清洗区和炉管区之间的动态派工.用Extend仿真建模软件建立了有"重入特性"的晶圆厂仿真模型.通过晶圆厂仿真模型进行模拟,结果显示看板可以解决晶圆生产在清洗工艺后存在违反"等待时间限制"的情况,可以显著提高炉管设备的利用率,并且明显降低产品的生产周期时间.

关键词：看板、晶圆厂、拉式派工法、返工、Extend仿真

所属期刊栏目：32

分类号：TP3(计算技术、计算机技术)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研基金;上海市重点学科建设项目

在线出版日期：2007-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：208-212