故障树分析法在半导体设备故障诊断中的应用

摘要：

介绍了故障树分析法的原理.以反应离子刻蚀(RIE)设备的典型故障为例,建立故障树,通过求解最小实际故障来进行定性分析.尝试扩展故障树在故障判断和改进真空系统可靠性方面的应用,得出几个有针对性的结论.该方法能提高故障诊断的效率和准确性.

关键词：反应离子刻蚀、故障树、最小割集

所属期刊栏目：32

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2007-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：205-207