微电子制造中Ti的湿法蚀刻

摘要：

综述了微电子制造工艺中Ti的湿法蚀刻的发展过程,指出了传统Ti蚀刻液的缺点;介绍了最新研究改良后的多种Ti蚀刻液配方和化学药品、废气、废液对人员环境的影响.

关键词：湿法蚀刻、钛、微电子制造

所属期刊栏目：32

分类号：TN305.2(半导体技术)

在线出版日期：2007-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：133-137