基于FDTD的薄膜体声波谐振器的数值分析

摘要：

提出了基于时域有限差分方法对薄膜体声波谐振器进行数值分析的新方法.利用时域有限差分法理论对压电材料的控制方程和牛顿方程在空间和时间上进行了离散化,通过得到的差分方程直接得出了声场传播的时域数值解.使用该数值方法对薄膜体声波谐振器的电学特性阻抗进行了分析,并将结果与一维Mason模型的解析解进行了比较验证.

关键词：压电材料、时域有限差分法、压电谐振器

所属期刊栏目：32

分类号：TN713(基本电子电路)

资助基金：国家重点实验室基金51432050205DZ2304

在线出版日期：2007-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：121-124