10.3969/j.issn.1003-353X.2006.07.002
电子表格模型在半导体晶圆制造产能规划中的应用
半导体晶圆厂的设备非常昂贵,对设备利用率的要求较高,设计一套简单实用的办法进行产能规划是十分必要的.本文提出了产能规划的三大模块,在前两个模块中将建立半导体晶圆制造产能规划的电子表格模型(Spreadsheet),在第三个模块中利用产能规划模型的数据结果进行分析,总结出一些改进方法.通过在某半导体晶圆厂的实际应用,该产能规划模型有效地解决了投料不均,设备负荷率波动过大等问题.
产能规划、半导体、晶圆制造、电子表格模型
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TN4(微电子学、集成电路(IC))
2006-08-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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