GaAs基微机械加工技术

摘要：

为了进一步提高传感器的灵敏度,提出了利用GaAs半导体材料来突破硅的极限,阐明了GaAs材料的优越特性和发展GaAs基MEMS的必要性.概述了GaAs微机械加工的刻蚀技术、体微机械加工技术和表面微机械加工技术的特点,对相应的GaAs微机械加工工艺进行了举例分析,并介绍了国内首次制作的GaAs基MEMS微结构,为GaAs MEMS的进一步发展奠定了基础.

关键词：微电子机械系统、微机械加工技术、砷化镓

所属期刊栏目：31

分类号：TH7;TN304.2(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金;科研启动基金

在线出版日期：2006-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：481-484