小尺寸双极超β晶体管的TCAD设计与优化

摘要：

基于TCAD一体化系列工具,实现了小尺寸双极性超β晶圆管芯的工艺级及器件物理特性级的设计与优化.提出了基区宽度接近90nm层次下的小尺寸双极性超β晶体管的工艺实施方案.经TSUPREM-Ⅳ和MEDICI一体化仿真、参数提取及特性的验证表明,设计方案完全可以达到器件参数的要求.

关键词：双极型晶体管、增益、集成电路、计算机仿真、工艺模拟

所属期刊栏目：30

分类号：TN433(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2005-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：57-59