63.5 mm×127 mm英寸UT 1×光刻版的设计及制造

摘要：

提出一种新的UT 1X光刻版规格:63.5mm×127mm,与原来的76.2mm×127mm的UT1X光刻版适用于同一种UltraTech步进光刻机.相应的光刻版数据处理以及夹具进行了调整.新规格的光刻版将127mm×127mm的基材的产出提高了一倍,加快了光刻版的生产速度,同时减少了废弃物的产生,有利于降低成本和环境保护.

关键词：UltraTech、数据处理、光刻版、光刻

所属期刊栏目：29

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：30-32,35