10.3969/j.issn.1003-353X.2004.06.010
63.5 mm×127 mm英寸UT 1×光刻版的设计及制造
提出一种新的UT 1X光刻版规格:63.5mm×127mm,与原来的76.2mm×127mm的UT1X光刻版适用于同一种UltraTech步进光刻机.相应的光刻版数据处理以及夹具进行了调整.新规格的光刻版将127mm×127mm的基材的产出提高了一倍,加快了光刻版的生产速度,同时减少了废弃物的产生,有利于降低成本和环境保护.
UltraTech、数据处理、光刻版、光刻
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TN305.7(半导体技术)
2004-07-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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